گروه های دانشکده گروه های دانشکده

آزمایشگاه ساخت ادوات میکرو و نانو آزمایشگاه ساخت ادوات میکرو و نانو

  • سال راه اندازی: 92
  • اهداف آزمایشگاه:

1-     بومی سازی ساخت ادوات الکترونیکی، سنسورها و ادوات MEMS

2-    تحقیقات بنیادی روی تاثیر نانو ساختارها در عملکرد ادوات میکرو و نانو

3-     کمک به ارتقای سطح تکنولوژیکی کشور و آموزش محققان این حوزه

 


  • امکانات:

این آزمایشگاه مجهز به تجهیزات عمومی آزمایشگاه و تجهیزات تخصصی منجمله اسپاترینگ رومیزی، اسپین کوتینگ، سامانه تفنگ الکترونی،  کوره تیوبی، هموژنایزر

اولتراسونیک ، Mask aligner، میکروسکوپ سه چشمی، آون فن دار دیجیتال می باشد.